晶線斷裂檢測系統(tǒng)
系統(tǒng)概述
在直拉法單晶硅棒生產(chǎn)過程中,，晶棒在液面處慢慢生長為固體晶棒,。晶棒在生長過程中,，其表面每隔90度形成一條豎直的晶線。由于生產(chǎn)時的不確定因素會導致晶線斷裂,，產(chǎn)品就不合格,。生產(chǎn)中需要監(jiān)測單晶棒的生長，及時發(fā)現(xiàn)晶線斷裂并發(fā)出告警,。如果未及時發(fā)現(xiàn)晶線斷裂,，晶棒會在無晶線的情況下繼續(xù)生長成為廢品。
通過在單晶硅生長爐觀察孔安裝相機連續(xù)拍攝單晶硅棒的圖像,、算法軟件自動判斷晶線是否斷裂實現(xiàn)對生長過程的自動監(jiān)測,。
正常晶線示例 晶線斷裂示例
技術(shù)難點
采集的圖像完全是由高溫爐內(nèi)液體和固態(tài)晶棒的溫度不同而產(chǎn)生的灰度圖像，因此圖像的對比度較小,，給晶線的識別和判斷造成了一定的困難,。使用深度學習算法，通過大量的樣本進行訓練,，訓練得到的深度神經(jīng)網(wǎng)絡能夠準確地識別出晶線是否斷裂,。
檢測結(jié)果
晶線未斷裂檢測實例
晶線斷裂檢測實例
